Browsing by Author "莊富傑"

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    全像光學元件之表面特徵診斷
    (2008) 莊富傑
    本論文以正立式的架構搭建一套差動共焦顯微鏡，此系統的架構、元件和儀器的規格，及架構的設計文中也有詳細描述。系統以波長為632.8nm之光源、數值孔徑為0.8之物鏡為主，其縱向與橫向解析度分別可至4.2nm及422nm，並且動態範圍為500nm。由於差動共焦顯微術的軸向解析率限制主要來自系統的雜訊，經排除機械震動、光學雜訊與電性擾動等因素，可得到75.7dB的差動共焦訊雜比。 利用差動共焦顯微術對奈米級表面起伏的敏感性、及非侵入性、非破壞性、非接觸性等優勢，量測出幾種樣品的表面輪廓(例如：微透鏡、高分子膜、一維光柵和二維光子晶體)。並藉由最大可能估計法(maximum-likelihood estimation algorithm，MLE)來提升影像的橫向解晰度。