Browsing by Author "Hong Wei Chang"

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    雷射光致奈米記錄點於鍺銻碲相變化材料之特性研究
    (2007) 張宏偉; Hong Wei Chang
    本實驗利用雷射光泵探系統(pump and probe laser system)於不同厚度之Ge2Sb2Te5相變化薄膜上寫下記錄點矩陣，欲分析在改變膜層厚度條件下，記錄點之光學反射訊號及表面形貌的改變。實驗中經由以下幾點進行分析：(a)、雷射光探測系統，可藉由光學反射強度進而了解記錄點不同相態(phase state)之改變關係；(b)、透過原子力顯微儀(atomic force microscopy)，可知記錄點表面的形貌(surface topography)起伏與變化，藉此了解雷射光束對相變化材料造成之物理形變為何；(c)、透過導電式原子力顯微儀(conductive-atomic force microscopy)，可知記錄點表面之導電性強弱，藉以分析不同相態之記錄點電性為何；(d)、透過歐傑能譜(Auger electron spectrum)分析，可對樣品表面進行元素成分分析，探討實驗中之表面氧化(surface oxidized)及不連續缺陷區域(defect of surface discontinuity)議題；(e)、透過加熱平台(heating stage)，在加熱下進行原子力顯微儀掃描，可得不同溫度下，寫下記錄點表面變化情形及相變化薄膜電性之改變。