學位論文
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Item 氧化鋅摻鋁與鋁誘發多晶矽薄膜之異質接面太陽能電池研究(2015) 夏晨凱; Hsia, Chen-Kai摘要 本實驗是在不銹鋼基板上利用n型氧化鋅摻鋁薄膜(AZO)與p型多晶矽薄膜結合成異質接面太陽能電池。其中p型多晶矽薄膜是利用鋁誘發多晶矽的方式製成。因此先利用射頻濺鍍系統在玻璃基板濺鍍鋁薄膜與非晶矽薄膜，並改變其退火溫度使鋁誘發非晶矽形成p型再結晶矽薄膜探討其導電性分析，之後與氧化鋅摻鋁薄膜在不銹鋼基板上形成可饒式異質接面太陽能電池。 其中氧化鋅摻鋁薄膜(AZO)先濺鍍於玻璃基板，改變薄膜厚度，探討其電性與光學特性。藉由厚度的改變可得較低的電阻率、高摻雜濃度與移動率，分別為3.49×10-4 Ω-cm、1.12×1020 cm-3、13.87 cm2/V‧S、並且擁有好的光穿透率光率的光電特性，約為80%左右。 利用AZO作為太陽能電池中的上電極以及n型接面與p型再結晶薄膜濺鍍於不銹鋼基板作為可繞式太陽能電池。可獲得一開路電壓為0.31 V，光電流為0.1 mA，光電轉化效率為0.0113 %的太陽能電池。