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矽基太陽能電池熱處理分析及製程技術比較
(2009) 陳安喬; An-Chiao Chen
現今太陽能電池的種類很多，不過市場上主要還是以矽基為主，因此在本實驗中以矽基太陽能電池來探討。目前非晶矽太陽能電池中所使用的透明導電層各有不同，為了瞭解其差異，在實驗中使用FTO玻璃和ITO玻璃來當基板，完成太陽能電池製作後進行熱處理，使用不同條件的快速退火溫度，然後觀察其各種特徵參數的改變，如開路電壓、短路電流、填充因子、轉換效率等。而從實驗結果來看，可以發現FTO玻璃可以承受的溫度較高，各種特徵參數不會隨升溫而迅速變差，並從串聯電阻和分流電阻來探討其原因。另一方面，高效率的異質接面太陽能電池(HIT)也是實驗探討的內容之一，提高效率即可降低其生產成本，故從製程方面的參數改變，如使用的基板種類、基板厚度、背電場的有無等等，來探討其最佳化的參數設計，以提高其效率。從實驗中可發現，有製作背電場和使用IC等級的晶圓，的確可以達到較好的效率，期望未來可以改良製程條件和參數等，達到最佳化的條件，進一步提高異質接面太陽能電池的效率。