學位論文

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20071

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Author: search.filters.author.Mei-Hsiu PanSubject: search.filters.subject.SOI

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    矽上微環形共振腔之研究與應用
    (2007) 潘眉秀; Mei-Hsiu Pan
    本文為研究內結合光學波導主動與被動式元件其為未來發展之趨勢。我們將光學波導結合光學微環洐共振腔與空橋的結構並建置在SOI矽晶片上，此研究與模擬利用有效差分時域演算法進行模擬與設計。利用自由载子電漿分散效應以及蕭基二極體結構來調變此元件，藉由電光調變共振腔來製作濾波器與光學交換器應用於通訊上。在感測器應用上，我們模擬應用微環形共振器的光濾波器特性，在環形波導區域，利用生物物質之折射率變化，藉此從波導的輸出端擷取出不同的特定信號，並於此論文中，設計微環形共振腔的幾何結構，並探討其感測功率靈敏度之分析。在微環共振器感測器設計應用上我們著重於小尺寸、低成本以及高靈敏度之提升。