教師著作
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Item 新型微機械式可變電容之設計與製作(2005-11-25) 程金保; 楊啟榮; 黃信瑀; 劉榮德; 湯杜翔Item 整合奈米球微影及光輔助電化學蝕刻之高深寬比奈米柱狀陣列製作技術(2005-11-10) 楊啟榮; 黃茂榕; 湯杜翔; 劉榮德Item 微機電LIGA製程之電鑄銅合金研究(2006-11-11) 楊啟榮; 程金保; 劉榮德; 張明宗; 彭榆鈞Item 新型高深寬比奈米孔洞陣列製作技術(2005-11-25) 楊啟榮; 黃茂榕; 湯杜翔; 劉榮德本研究結合奈米球微影以及光輔助電化學蝕刻兩項技術之優點，用於製作高深寬比的奈米孔洞陣列。實驗的結果証實利用旋轉塗佈搭配震盪塗佈的方式，可將奈米球規則地排列於矽基板上，並且定義出單層與雙層奈米等級的圖案。而在光輔助電化學蝕刻的實驗中，証實了在添加界面活性劑的作用下，蝕刻液的接觸角可降低至 15度，具有超親水性的特性，並大幅改善擴孔現像，使得奈米級的高深寬比孔洞能夠輕易的產生。當使用1 V的蝕刻電壓與HF 濃度2.5wt%的蝕刻液，經過12.5分鐘的蝕刻後，能夠產生高度6.2μm，直徑為90nm 的高深寬比之奈米級孔洞，而孔洞的深寬比約為68:1。Item 微機電LIGA製程之電鑄銅合金研究(2006-11-11) 楊啟榮; 程金保; 劉榮德; 張明宗; 彭榆鈞Item 新型微機械式可變電容之設計與製作(2005-11-25) 程金保; 楊啟榮; 黃信瑀; 劉榮德; 湯杜翔