光電工程研究所

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本所於民國91年成立碩士班，94年成立博士班。本所成立之宗旨及教育目標在於培育符合社會所需的光電科技專業人才，本所發展目標在於實現學界對於國內產業的關懷與參與之願景，並朝向「產業知識化、知識產業化」的發展趨勢與需求邁進。近年來，本校已轉型為綜合研究型大學，依據校務整體發展計畫與本所發展策略規劃之需求，將能提供本所未來發展之參考與願景。

本所研究方向 ：
一、光電材料與元件模組
二、奈米生醫及醫學影像

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End date: 2019Subject: search.filters.subject.SQUID

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    高溫超導磁量計與超導耦合線圈製作及特性研究
    (2012) 許晉瑋
    本實驗將討論如何設計與製作高溫超導磁量計與超導螺線 線圈。並利用重疊的方式使超導螺線圈與磁量計，達到最佳的耦 合效果。 我們使用鍍上高溫超導釔鋇銅氧的鈦酸鍶雙晶基板，利用微 影製程與氬離子蝕刻的方式，製作量子干涉元件-磁量計，但實驗 的過程中由於形成約瑟芬接面的薄膜太厚，導致無法量測到其 V-Φ 關係曲線，而透過薄膜厚度修正後，磁量計的最大電壓調制 幅度VPP 為13.8 Ｖ，而磁場雜訊在1 KHz 時約為25 μΦ0/Hz1/2。 另外使用鍍上高溫超導釔鋇銅氧的鋁酸鑭單晶基板製作出線寬與 線距均為100μm 的高溫超導螺線圈。 最後使超導螺線圈重疊在磁量計的接收線圈上方做為耦合線 圈，磁量計雜訊頻譜上升1.5 倍，但超導螺線圈與磁量計互感為同 樣圈數銅線圈的五倍，相信此耦合方式可應用於核磁共振系統中。
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    使用脈衝雷射沉積法在鈦酸鍶階梯式基座上製作高溫超導磁量計及其特性研究
    (2012) 高建智; Chien-Chih,KAO
    使用10 mm ×10 mm ×1 mm大小的鈦酸鍶基板，經過黃光製程使其形成階梯，階梯角度要在72度以上，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製釔鋇銅氧高溫超導薄膜，我們可以穩定製作出良好之高溫超導薄膜，其表面粗糙度控制在37 Å至39 Å，且臨界溫度在88 K左右，才會後續製作，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再在配合量測儀器Mr. SQUID來檢查我們做出來的SQUID特性。 在本論文中，我們成功製作出高溫超導磁量計，樣品在液態氮溫度(約77.4K)下量測，其Vpp訊號最大時的臨界電流Ic 約在8 ~ 12 μA，常態電阻Rn約在2.5 ~ 5.5 ，我們發現階梯角度越高，其成功的Vpp訊號比其它階梯角度的Vpp訊號來的大；雜訊方面，在屏蔽下的環境，white noise可達到10 ~ 20 μΦ0/Hz1/2。
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    使用磁控濺鍍在氧化鎂階梯式基座上製作高溫超導量子干涉元件
    (2012) 王建達
    本實驗階梯式高溫超導磁量計，是利用磁控濺鍍方法，將釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7)薄膜，成長於氧化鎂(10 mm×10 mm)之階梯式基座上。利用曝光、顯影、氬離子蝕刻等半導體技術來製作。一開始使用階梯角度35°、45°、55°、65°的MgO基座，階梯高度在300 nm，在將MgO階梯基座鍍上臨界溫度可以到達86 K以上的釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-x)超導薄膜，薄膜厚度約150 nm，SQUID線寬為3 μm、4 μm、5 μm。再把SQUID樣品放置於低溫恆溫器，降溫於液態氮中之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。將每個階梯基座角度的I-V及V-Φ特性，做比較試圖找出特性最佳的階梯基座角度以及SQUID的線寬，再將薄膜厚度提升至200 nm後，以離子蝕刻的方式將薄膜厚度從200 nm降低，為了比較不同薄膜厚度的所量測的I-V及V-Φ特性。 本論文我們試圖研究探討不同角度的MgO階梯式基座，及不同角度的MgO階梯式基座所製作出的超導量子干涉元件的特性去做比較。希望能製作出V-Φ特性的Vpp訊號和雜訊能夠在NMR系統上使用。
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    階梯式高溫超導量子干涉元件基座及薄膜特性研究
    (2010) 潘柏翰
    本實驗使用的是尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶 (SrTiO3) (001)基板，經黃光製程使其形成階梯 (Step-edge) 式的基座來製作SQUID Magnetometer，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製臨界溫度90 K以上的釔鋇銅氧薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
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    階梯式陣列SQUID磁量計製作與特性研究
    (2010) 劉品均
    本論文主要是探討階梯式(Step-edge)直接耦合式直流SQUID磁量計之特性，其中SQUID 是以串聯方式與磁場補捉線圈形成直接耦合而成。磁量計中每個SQUID的線寬皆為3 μm，自感值為70 pH。實驗使用的基板階梯高度為192 nm, 階梯角度為70度,我們以階梯階梯高度與YBCO薄膜厚度比為1：1.2的條件下去製作SQUID磁量計, 順利的在階梯式基板製作陣列SQUID磁量計。 本實驗製作階梯的過程，製作階梯時離子束入射方向蝕刻的角度與基板相對的角度約60度，清除基板上殘留SrTiO3顆粒的蝕刻角度，離子束入射方向與基板的角度能儘可能的平行，以使階梯上緣的角度可以尖銳又陡峭，可以使約瑟芬接面順利產生，離子束入射方向與基板夾角60度蝕刻出來的基板角度是最陡，清除殘留SrTiO3顆粒選擇離子束入射方向與基板的夾角接近平行效果好。
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    一階SQUID梯度計磁場靈敏度特性之研究
    (2006) 蔡宜修; Yi-Shou Tsai
    在本實驗中，我們在10 mm x 10 mm x 1 mm的碳酸鍶雙晶體(晶界夾角24°)上鍍製高溫超導薄膜(YBa2Cu3O7-δ)，並用來製作一階平面式梯度計，最後的目的是希望可以在無屏蔽的環境下來量測一些生物的磁場，或者利用在非破壞性檢測等方面。 我們總共設計12個SQUID在圖形中，其目的是要增加製作的成功率，避免因為單一個SQUID的Josephson junction失敗，而造成整個樣品的失敗。另外此設計可以單獨一個操作，或可將兩個SQUID串聯起來工作，如此可以使得Vpp有疊加的作用，其優點是會使SQUID的靈敏度提高。 最後我們製作出來的梯度計單個SQUID的Vpp約為20 μV上下，而非屏蔽環境下的磁場靈敏度在1 KHz時約為40~80 fT/cmHz1/2之間，在1 Hz時約為700~2000 fT/cmHz1/2之間。
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    低磁場核磁共振梯度接收線圈應用於肝腫瘤組織檢驗
    (2014) 周彥廷
    本研究中，我們整合結合超導量子干涉元件（superconducting quantum interference device, SQUID）和預極化技術，提高低磁場核磁共振系統的量測訊雜比，並將此系統應用於肝腫瘤檢測。為了解決在非磁屏蔽環境下，測量磁場隨環境磁場漂移，而導致磁共振頻率飄移的問題，我們使用磁通閘監控環境磁場之變化，作為磁共振訊號頻率修正之參考，成功增加了訊號頻譜之訊雜比。然在量測微量樣品時，為了降低環境雜訊並避免冷卻預極化線圈的循環水的訊號被量測到。我們採用了梯度接收線圈的設計，成功消除了循環水的訊號。在1.5 高斯的主磁場、930高斯的預極化磁場之條件下，進行了微量（0.5 ~ 0.1 g）之老鼠腫瘤與正常肝組織之縱向鬆弛時間（T1）之量測，與0.5 g 老鼠肝臟腫瘤與正常組織之混合樣品之鬆弛時間檢測。驗證本研究之低場磁共振系統具臨床應用的潛力。
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    可攜式光激發3He超極化氣體於低場磁振造影之特性研究
    (2014) 許家豪
    本研究運用“高純度極化氣體填充系統”設計了3He仿體極化光學腔，並架設“光激發3He與低場核磁共振系統”，主要是經由數據擷取卡(DAQ)整合雷射系統、加熱系統和磁場等裝置，穩定的將3He極化並測量磁共振訊號。由於在低場下測量磁共振訊號，我們結合了極高靈敏度的“ 超導量子干涉儀元(Superconducting Quantum Interference Device ; SQUID)”來當作接收訊號感測器，增加系統靈敏度與精準度，並與傳統的法拉第接收線圈做比較，有效提高影像的清晰度。為了將極化過的3He運送到其他地區有利於應用的可能性，我們設計了一台“可攜式極化氣體運送裝置”，有助於在運送超極化3He氣體時，降低外在環境影響，並測量其極化保存的數量，有效的提高縱向鬆弛時間(T1)。
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    高溫超導梯度計交流磁化儀之開發暨生物分子檢測應用研究
    (2014) 張育綸
    本實驗主要是要架設是交流磁化率並結合SQUID的χac量測系統以及抗雜訊能力高的梯度計。此一階梯度計SQUID的製作是以超導耦合線圈為主，利用超導薄膜設計的線圈架構，再梯度計的兩邊超導耦合線圈，一邊的超導耦合線圈當SQUID的Magnetic flux，另一邊是當input coil結合χac系統接收訊號，量測C-反應蛋白不同濃度的飽和磁化率變化。 目前已成功製作出一階梯度計SQUID，單顆最佳為Ic = 10 μA，Vpp = 22 μV，串聯後最佳化可得Ic = 22 μA，Vpp = 51 μV，則串連起來後屏蔽屋外(內)之量測磁通雜訊約為31μΦ0/Hz1/2(內)、32μΦ0/Hz1/2 (外)，發現梯度計在無屏蔽下之雜訊無影響，也順利的建置完成系統，量測CRP-10 ppm、5 ppm、2 ppm、1 ppm、0.5 ppm不同濃度的相位變化。
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    低場磁振造影於生物組織影像之特性研究
    (2017) 陳致豪; Chen, Jhih-Hao
    摘要 本研究結合了超導量子干涉元件(Superconducting quantum interference device, SQUID )磁性量測技術，並使用預先極化技術提升磁矩的磁化率，在鋁屏蔽屋裡建造低場磁振造影系統(Low-field MRI)。為了降低地球磁場對系統的影響，設計了一對地球磁場補償線圈，用來抵銷地球磁場的垂直分量，並旋轉系統主磁場方向與地球磁場的水平分量平行，藉此方便調整主磁場的強度，最後使用三個方向的梯度線圈，使磁場均勻度提升，以及造影所需頻率、相位編碼之應用。 在磁振造影部分，藉由改變系統的共振頻率，以及梯度磁場的造影序列，我們大幅提升了訊雜比(signal-to-noise ratio, SNR)，原本的SNR由213.15提升至533.14，影像品質進而提升許多。 為了驗證低場磁振造影系統應用的可行性，我們造影出清晰的蔬果結構性影像，並藉由水果二維與三維的磁振造影，可以判斷水果損傷的確切位置。在生醫方面的應用，我們進行手臂的磁振造影，也能夠得到結構性影像；豬肉的磁振造影也能觀察到輪廓，初步驗證本研究之低場磁振造影系統，做為生物醫學應用的可行性，此外系統造價成本及維護費用低廉，極具產業化的價值與潛力。 關鍵字：低場磁振造影、超導量子干涉元件、預先極化技術