階梯式高溫超導量子干涉元件基座及薄膜特性研究

dc.contributor謝振傑zh_TW
dc.contributor.author潘柏翰zh_TW
dc.date.accessioned2019-09-04T01:32:21Z
dc.date.available不公開
dc.date.available2019-09-04T01:32:21Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstract本實驗使用的是尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶 (SrTiO3) (001)基板,經黃光製程使其形成階梯 (Step-edge) 式的基座來製作SQUID Magnetometer,之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製臨界溫度90 K以上的釔鋇銅氧薄膜,經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作,之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。zh_TW
dc.description.sponsorship光電科技研究所zh_TW
dc.identifierGN0697480059
dc.identifier.urihttp://etds.lib.ntnu.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dstdcdr&s=id=%22GN0697480059%22.&%22.id.&
dc.identifier.urihttp://rportal.lib.ntnu.edu.tw:80/handle/20.500.12235/98214
dc.language中文
dc.subject高溫超導zh_TW
dc.subject釔鋇銅氧zh_TW
dc.subjectSQUIDzh_TW
dc.title階梯式高溫超導量子干涉元件基座及薄膜特性研究zh_TW

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