利用電化學蝕刻技術應用於微懸浮結構之製作
dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
dc.contributor.author | 陳顯禎 | zh_tw |
dc.contributor.author | 郭華皓 | zh_tw |
dc.contributor.author | 李明承 | zh_tw |
dc.contributor.author | 曾柏翔 | zh_tw |
dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:19Z | |
dc.date.available | 2014-10-30T09:36:19Z | |
dc.date.issued | 2006-11-24 | zh_TW |
dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_038 | zh_TW |
dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37001 | |
dc.language | chi | zh_TW |
dc.relation | 2006 中國機械工程學會(CSME)第23屆全國學術研討會,台南:崑山科技大學,臺灣。 | zh_tw |
dc.title | 利用電化學蝕刻技術應用於微懸浮結構之製作 | zh_tw |