電化學蝕刻技術應用於靜電式微致動器之研製

No Thumbnail Available

Date

2006-11-30

Authors

楊啟榮
陳顯禎
郭華皓
李明承
張明宗

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Abstract

Description

Keywords

Citation

URI

http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37007

Collections

教師著作

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By