電化學蝕刻技術應用於靜電式微致動器之研製
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 陳顯禎 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 郭華皓 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 李明承 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 張明宗 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:36:20Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:36:20Z | |
| dc.date.issued | 2006-11-30 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_044 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/37007 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 中華民國微系統暨奈米科技協會等主辦。第十屆奈米工程暨微系統技術研討會，新竹，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 電化學蝕刻技術應用於靜電式微致動器之研製 | zh_tw |