類LIGA製程應用於光開關結構之研製
| dc.contributor | 國立臺灣師範大學機電工程學系;國立臺灣師範大學工業教育學系 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 楊啟榮 | zh_tw |
| dc.contributor.author | 趙俊傑 | zh_tw |
| dc.date.accessioned | 2014-10-30T09:33:46Z | |
| dc.date.available | 2014-10-30T09:33:46Z | |
| dc.date.issued | 2002-11-21 | zh_TW |
| dc.identifier | ntnulib_tp_E0403_02_005 | zh_TW |
| dc.identifier.uri | http://rportal.lib.ntnu.edu.tw/handle/20.500.12235/35377 | |
| dc.language | chi | zh_TW |
| dc.relation | 第六屆奈米工程暨微系統技術研討會，2C-5，台南：成功大學，臺灣。 | zh_tw |
| dc.title | 類LIGA製程應用於光開關結構之研製 | zh_tw |