階梯式高溫超導量子干涉元件基座及薄膜特性研究

Abstract

本實驗使用的是尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶 (SrTiO3) (001)基板，經黃光製程使其形成階梯 (Step-edge) 式的基座來製作SQUID Magnetometer，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製臨界溫度90 K以上的釔鋇銅氧薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。